安徽譜純 純度高(圖)-特種氣體廠-武漢特種氣體：

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特種氣體存放

針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設計將鋼瓶置于特氣柜內(nèi)，再通過管道將氣體供應至現(xiàn)場附近的閥門箱，而后再進入制程機臺的使用點，于進入機臺腔體之前，武漢特種氣體，會有獨立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機，以質流流量計控制器進行流量之控制與進氣的混合比例控制，高純度特種氣體廠家，通常此氣體控制盤不屬于廠務系統(tǒng)的設計范疇，而是歸屬制程機臺設備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤進行供應。

CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質傳統(tǒng)精餾無法去除，特種氣體生產(chǎn)廠家，本公司經(jīng)過多年潛心研究和多項實驗，研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質共沸而無法除去的技術難題，使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段，較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

輔助系統(tǒng)的設計

氣體房和氣柜還須有自動噴淋系統(tǒng)，但有的氣體如三氟化氯，硅1烷遇水反應，這時就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

排風系統(tǒng)和放空系統(tǒng)也是特氣系統(tǒng)的重要組成部分。其排風系統(tǒng)也根據(jù)危險品性質分成普通排風系統(tǒng)（GEX）、酸性排風系統(tǒng)（SEX）、溶劑排風系統(tǒng)（VEX）、氨氣排風系統(tǒng)（AEX）。普通排風系統(tǒng)采用鍍鋅鐵皮風管，酸性排風一般采用玻璃鋼風管，溶劑和氨氣排風一般采用不銹鋼風管。氣柜的排風也是根據(jù)其性質接入上面不同的排風系統(tǒng)。

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